FIB制样的优势是什么？

FIB制样的优势是什么？

FIB制样原理：利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。

FIB制样优势：三者中制样精度最高，界面清晰，可观察到材料晶格形貌、内缺陷。可测复杂及纳米级结构。

FIB制样缺点：制样面积小，约10微米,对样品尺寸有要求。

FIB制样适合领域：观察金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等表面及内部缺陷。