GBT22571-2017表面化学分析　X射线光电子能谱仪　能量标尺的校准

GB t22571-2017表面化学分析用X射线光电子能谱仪的能标标定

范围：本标准规定了通用分析用X射线光电子能谱仪的综合能量标度的校准方法，该标度使用 非单色Al或MGX射线或单色AlX射线。仅适用于离子枪溅射清洗的仪器。 本本标准进一步规定了建立校准程序的方法，在中 之间的某一能量值下测试组合能标度的线性度，确认高低组合能区各点的标度校准不确定度，校正标度的小漂位移，并规定了95%置信度下的综合能量标度校准。这种不确定性包括来自实验室间研究中观察到的现象的贡献中 ，但不包括所有可能的缺陷。 本本标准不适用于以下情况的仪器：综合能量标度误差与能量呈明显的非线性变化，工作在固 定减速比模式，减速比小于10，光谱仪分辨率差小于1.5ev或要求的公差极限为±0.03ev或以下。 本本标准不提供满标度校准检验，应按照仪器制造商推荐的程序，对能标度上的每一点进行验证。

发布时间：2017-09-07   实施时间：2018-01-01

发布部门：国家质量监督检验检疫总局

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