扫描电子显微镜的一些用途

扫描电子显微镜的一些用途

    扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

扫描电镜对各种固体样品表面进行高分辨的形貌分析是扫描电子显微镜的最基本的功能，扫描电子显微镜观察的特点就是大景深图像。对于样品的表面，或者是样品切开的面，或者是一个断面，这些都可以被清楚的观察到。可以直接看到原始或者磨损的表面，也可以观察氧化物的表面，晶体的生长或者腐蚀的缺陷。另一方面也可以研究小的易碎样品的结构。另一方面，它也可以拍出和样品的表面相对相应的立体感强的照片。

在电子扫描显微镜的应用中，有一部分集中在器件上，它可以很详细的观察器件工作后的局部表面的变化，物品磨损或表面腐蚀甚至焊接开裂这些细节或者相互关系都可以很容易的观察到。

样品盒电子束的作用区内，还可以发射与样品物质其他性质有关的信号，例如：与样品晶体结构相关的，背散射电子衍射现象的探测；与材料电学性能相关的，如二次电子信号、电子束感生电流信号；在观察薄样品是产生的透射电子信号灯。铄思百检测分别有探测器和装置用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。

扫描电子显微镜对于固体材料的研究应用是非常广泛的，对于固体材料的全面特征额描述，扫描电子显微镜是至关重要的。