什么是电子背散射衍射

什么是电子背散射衍射

自20世纪90年代以来，扫描电子显微镜上装配的背散射、晶体微区取向和晶体材料结构的分析技术取得了较大的发展，并且已经在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。这个技术被称为电子背散射衍射。其主要特点在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时，进行空间分辨率亚微米级的衍射。电子背散射衍射改变了以往组构分析的方法。

现如今，扫描电子显微镜中的电子背散射衍射技术已经能够实现全自动采集微区取向信息，样品制备也相对简单，采集数据的速度也更快，分辨率更高，为快速定量统计研究材料的微观组织结构奠定了基础，已经成为材料研究中一种有效的分析手段。电子背散射衍射技术的应用领域集中于多种晶体材料，用来研究各种现象，如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向有关的性能、界面性能、相鉴性等。

铄思百检测可提供电子背散射衍射检测服务，详情咨询铄思百检测工程师！

关键词：电子背散射衍射、扫描电子显微镜、晶体结构