扫描电镜加速电压的作用及选择

扫描电镜的技术领域中加速电压是一个重要技术。加速电压使电子束加速而获得能量，其范围为0.2~30KV，一般高压指用20KV，低压指小于10KV。其值越大，电子束能量越大，反之亦然。

在进行扫描电子显微镜分析时，为了获得感兴趣区域的优质图像效果，有一些重要参数是需要考虑的。其中一个很重要的参数就是加速电压，它是加在电子枪的阴极和阳极之间，用来加速电子产生电子束的。加速电压的选择与样品的导电性、放大倍数及图片质量等因素有关。一般来说，加速电压越高，图像的分辨率越高。

对于扫描电子显微镜中加速电压的选择，取决于样品的导电性、样品的质量要求和倍率等情况。当样品的导电性较好时，就选用高加速电压。在这时，电子束的能量越大，激发的二次电子、背散射电子的数量就越多，更有利于改善图像的分辨率、信噪比和反差，对于高倍的观察更加有利。

选择扫描电镜加速电压时必须要考虑空间分辨率，在保证合理的激发特征谱线时，扫描电镜的加速电压应该选用比较小的值。空间分辨率与过压比有关，过高的加速电压会使电子束在样品内的穿透较深，使空间分辨率明显变差。铄思百检测可提供扫描电子显微镜等相关测试。

关键词：扫描电子显微镜、电子束、加速电压