二次级离子质谱仪(SIMS)

二次级离子质谱仪(SIMS)

关键词：二次级离子质谱仪(SIMS)

原理：通过发射热电子电离氩气或氧气等离子体轰击样品的表面，探测样品表面溢出的荷电离子或离子团来表征样品成分。可以对同位素分布进行成像，表征样品成分;探测样品成分的纵向分布

图1　二次级离子质谱仪(SIMS)

适合分析材料:金属，半导体陶瓷，有机物

应用领域：物理，化学，微电子，生物，制药，空间分析等工业和研究方面。

特点：

⑴、对某些元素极其表面灵敏(10-6单层)；在静态模式下探测深度限制在最顶单层。

⑵、可测所有元素，包括H和同位素识别。

⑶、较好的横向分辨(1m)。

⑷、在动态模式下同时深度剖析。

⑸、在动态模式下具有探测搀杂级浓度的充分的灵敏度动态范围的唯一技术。

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